一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型涉及一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，保温罩设置为可升降式，由伺服直线运动机构和一端固定设置在保温罩顶部上的连动杆组成的升降机构主体安装设置在炉盖上，供电部件中的电极设置为水冷式，位于炉内的供电电缆设置为柔性水冷式。由于料台和坩埚设置为可免受升降机构的工作干扰、有利于确保结晶质量的固定式，坩埚内部容积的大小只与料台的承载能力有关，便于设置大容量的坩埚，且采用了具有确保可靠工作寿命的水冷式上下电极和水冷式柔性电缆，便于保温罩的自由升降，结构科学且合理，工作可靠且寿命长，产品质量稳定且纯度高，适于生产大尺寸、高纯度的多晶硅铸锭，具有很强的实用性。

主权项

1.一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉，包含有炉体(1)、料台(2)、坩埚(3)、保温罩(4)、升降机构(5)和供电部件(6)及电加热器件(7)，坩埚(3)设置在料台(2)上，保温罩(4)覆盖设置在料台(2)上方坩埚(3)的外围，电加热器件(7)固定安装设置在保温罩(4)顶部上、其主体伸置在保温罩(4)内壁与坩埚(3)外围之间的间隙(8)中，供电部件(6)中包含设置有电气控制装置(9)、电极(10)和输电电缆(11)，其特征在于：a.所述的电气控制装置(9)中包含有保温罩升降控制机构(9-1)和电加热控制机构(9-2)；b.所述的升降机构(5)由伺服电机、丝杆、滑块及导轨构成的伺服直线运动机构(20)和一端固定设置在保温罩(4)顶部上的连动杆(13)组成，至少设置三组，同圆等间距排列安装设置在炉盖(12)上；c.所述的电极(10)由近顶端部(14)上设置有水流进出接口(15)和内部设置有水流通道(16)、设置在炉盖(12)上的水冷式上电极(10-1)和设置在保温罩(4)顶部(22)上的水冷式下电极(10-2)构成；d.所述的输电电缆(11)中设置在水冷式上电极(10-1)和水冷式下电极(10-2)之间的部分由内部柔性电缆线(17)、外部柔性塑胶管(18)和由柔性塑胶管(18)及柔性电缆线(17)间的内部间隙构成中间水流通道(19)的水冷式柔性电缆(11-1)充任。