Substrate processing apparatus being capable of using multiple chemicals,申请号KR20060129540-传众专利搜索

发明名称	Substrate processing apparatus being capable of using multiple chemicals
摘要
申请公布号	KR100872887(B1)	申请公布日期	2008.12.10
申请号	KR20060129540	申请日期	2006.12.18
申请人		发明人
分类号	H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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