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发明名称 Apparatus For Receiving A Panel And Method Of Operating The Same
摘要
申请公布号 KR100872827(B1) 申请公布日期 2008.12.09
申请号 KR20070016524 申请日期 2007.02.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/673;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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