| 摘要 |
Vorrichtung zur Messung einer jeweiligen Auslenkung mehrerer regelmäßig angeordneter Messbalken (3) in einem Rastersondenmikroskop oder einem Rasterkraftmikroskop, umfassend: wenigstens eine Strahlenquelle (7), die eingerichtet ist wenigstens einen Messstrahl (5) zu erzeugen; eine Strahlenoptik, die eingerichtet ist den wenigstens einen Messstrahl (5) auf zumindest einen Teil der mehreren Messbalken (3) so zu richten, dass jeder Messbalken davon einen Messstrahl reflektiert; einen Detektor (10) mit mehreren Segmenten (12), der die von den Messbalken (5) reflektierten Messstrahlen (5) gleichzeitig detektiert, wobei jedes Segment des Detektors eingerichtet ist, ein von der auf das Segment eingestrahlten Energie abgeleitetes Signal auszugeben; eine Analyseeinrichtung (20), die die von dem Detektor (10) kommenden Signale auswertet und entsprechend einer Auslenkung eines Messbalkens (3) zuordnet.
|
