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发明名称 Vorrichtung zum Leiten eines gasförmigen Mediums in eine und/oder aus einer Prozeßkammer
摘要
申请公布号 DE10045958(B4) 申请公布日期 2008.12.04
申请号 DE20001045958 申请日期 2000.09.16
申请人 MUEGGE ELECTRONIC GMBH 发明人 MUEGGE, HORST;BAUMGAERTNER, KLAUS-MARTIN;SCHULZ, ANDREAS
分类号 B01J4/00;B01J19/08;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01J37/32 主分类号 B01J4/00
代理机构 代理人
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