发明名称 |
Elektronenmikroskopiesystem und Elektronenmikroskopieverfahren |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10236738(B4) |
申请公布日期 |
2008.12.04 |
申请号 |
DE20021036738 |
申请日期 |
2002.08.09 |
申请人 |
LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH |
发明人 |
KNIPPELMEYER, RAINER |
分类号 |
H01J37/28;H01J37/29;H01J37/05;H01J37/147;H01J37/244 |
主分类号 |
H01J37/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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