发明名称 Elektronenmikroskopiesystem und Elektronenmikroskopieverfahren
摘要
申请公布号 DE10236738(B4) 申请公布日期 2008.12.04
申请号 DE20021036738 申请日期 2002.08.09
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH 发明人 KNIPPELMEYER, RAINER
分类号 H01J37/28;H01J37/29;H01J37/05;H01J37/147;H01J37/244 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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