| 摘要 |
Es wird eine Strahlvorrichtung für geladene Teilchen offenbart, die einen Bestrahlungsmechanismus zum Bestrahlen einer Probe (2) mit einem geladenen Teilchenstrahl (FIB/EB), einen Erfassungsmechanismus zum Erfassen geladener Sekundärteilchen, die durch die Bestrahlung des geladenen Teilchenstrahls erzeugt werden, ein Speicherteil zum vorherigen Speichern von dreidimensionalen Daten des Bestrahlungsmechanismus und des Erfassungsmechanismus, derart, dass die dreidimensionalen Daten mit einem Gestellkoordinatensystem für das Gestell in Wechselbeziehung stehen, ein Umrechnungsteil zum Umrechnen von vorher eingegebenen dreidimensionalen Daten der Probe in das Gestellkoordinatensystem und ein Entscheidungsteil zum Simulieren von Positionsbeziehungen zwischen der Probe, dem Bestrahlungsmechanismus und dem Erfassungsmechanismus, basierend auf Daten, die von dem Umrechnungsteil umgerechnet sind, und auf Daten, die in dem Speicherteil gespeichert sind, wenn eine bestimmte Position der Probe in einen Messpunkt gebracht wird, und zum Vornehmen einer Entscheidung, ob die Probe zusammen gestoßen wird, und zum Vornehmen eines Berichtes der Entscheidung.
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