PARALLELE, EINZELN ADRESSIERBARE SONDEN FÜR DIE NANOLITHOGRAPHIE,申请号DE2002629527-传众专利搜索

发明名称	PARALLELE, EINZELN ADRESSIERBARE SONDEN FÜR DIE NANOLITHOGRAPHIE
摘要
申请公布号	DE60229527(D1)	申请公布日期	2008.12.04
申请号	DE2002629527	申请日期	2002.07.26
申请人	THE BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS	发明人	LIU, CHANG;ZHANG, MING;BULLEN, DAVID ANDREW
分类号	H01L21/66;B81B3/00;B81B7/04;G01N35/10;G01Q60/38;G01Q70/16;G01Q70/18;G01Q80/00;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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