| 发明名称 |
Ein Substratverarbeitungssystem und ein Substratverarbeitungsverfahren |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE602006000340(T2) |
申请公布日期 |
2008.12.04 |
| 申请号 |
DE20066000340T |
申请日期 |
2006.05.31 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD. |
发明人 |
KANEKO, TOMOHIRO;MIYATA, AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/00;G03F7/20;G06F19/00;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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