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经营范围
发明名称
Schleuderbeschichtungsvorrichtung und -verfahren
摘要
申请公布号
DE102004011850(B4)
申请公布日期
2008.12.04
申请号
DE200410011850
申请日期
2004.03.09
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
KOBAYASHI, SHINJI;MIYAMOTO, TETSUSHI;HAMADA, MASAHITO;KANEDA, MASATOSHI
分类号
B05C11/08;G03F7/16;B05C11/10;B05D1/00;B05D1/40;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/687
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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