| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe, insbesondere rastersondenmikroskopische Untersuchung, bei dem eine Probe sondenmikroskopisch untersucht wird mittels einer mehrteiligen Messsonde, welche mit einem Sondenelement und einem das Sondenelement beim sondenmikroskopischen Untersuchen führenden Führungselement gebildet ist, wobei das Verfahren weiterhin die folgenden Schritte umfasst: Erfassen von Rauschmesssignalen für die Messsonde in einer Nichtmesskonfiguration, in welcher das Sondenelement getrennt von dem Führungselement angeordnet wird, Erfassen von Messsignalen für die Messsonde in einer Messkonfiguration, in welcher das Sondenelement von dem Führungselement geführt wird, und Auswerten der Messsignale, indem die Messsignale wenigstens teilweise den Rauschmesssignalen zugeordnet werden. Weiterhin sieht die Erfindung eine Vorrichtung zum sondenmikroskopischen Untersuchen einer Probe vor.
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