Leistungsversorgungsvorrichtung zum Erzeugen von Hochfrequenzleistung für eine Plasmaerzeugungsvorrichtung,申请号DE20021057147-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Leistungsversorgungsvorrichtung zum Erzeugen von Hochfrequenzleistung für eine Plasmaerzeugungsvorrichtung
摘要
申请公布号	DE10257147(B4)	申请公布日期	2008.12.04
申请号	DE20021057147	申请日期	2002.12.06
申请人	KYOSAN ELECTRIC MFG. CO. LTD.	发明人	YUZURIHARA, ITSUO;KIKUCHI, MASAHIRO;SUENAGA, TOYOAKI;ISHIKAWA, YOICHI
分类号	H05H1/46;H01J7/24;H01J37/32;H02M7/537;H02M7/5387;H03J3/20	主分类号	H05H1/46
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