| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem für Strahlung mit einer Wellenlänge < 193 nm, vorzugsweise EUV-Strahlung umfassend: - ein erstes optisches Element (102) auf das die Strahlung auftrifft (200), - ein zweites optisches Element (300), das im Wesentlichen in einer Pupillenebene des Beleuchtungssystems angeordnet ist und die Strahlung (200) des ersten optischen Elementes (102) aufnimmt, wobei das erste und/oder das zweite optische Element eine Spiegeloberfläche aufweist und eine Einrichtung zur Erzeugung von Schwingungen auf der Spiegeloberfläche oder den Spiegel Oberflächen, die zu Oberflächendeformationen führen, so dass eine optisch wirksame Beugungsstruktur mit einer Strukturhöhe und einem definierten Strukturmuster auf der Spiegeloberfläche erzeugt wird, so dass auf die Spiegeloberfläche auftreffende Strahlung in einem vorbestimmten Winkelbereich gebeugt wird und eine Ausleuchtung in einer Austrittspupille des Beleuchtungssystems (500.1, 500.2) in Abhängigkeit von der Strukturhöhe und dem definierten Strukturmuster eingestellt wird.</p> |
