发明名称 一种非易失性存储器及其设计方法
摘要 本发明公开了一种非易失性存储器及其设计方法,包括提供源极、漏极和浮栅的多层,该多层包含为存储器提供互连线的多层金属层。其中至少两层金属层电容性耦合,为浮栅提供电容。通过本发明为用户提供了一套成本投入小、存储性能优越、基于现有逻辑工艺的非易失性存储器设计制造解决方案。
申请公布号 CN101315935A 申请公布日期 2008.12.03
申请号 CN200710099806.0 申请日期 2007.05.30
申请人 北京芯技佳易微电子科技有限公司 发明人 朱一明
分类号 H01L27/115(2006.01);H01L29/788(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/768(2006.01) 主分类号 H01L27/115(2006.01)
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 许静
主权项 1.一种非易失性存储器,包括提供源极、漏极和浮栅的多层,该多层包含为存储器提供互连线的多层金属层。其中至少两层金属层电容性耦合,为浮栅提供电容。
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