发明名称 |
一种非易失性存储器及其设计方法 |
摘要 |
本发明公开了一种非易失性存储器及其设计方法,包括提供源极、漏极和浮栅的多层,该多层包含为存储器提供互连线的多层金属层。其中至少两层金属层电容性耦合,为浮栅提供电容。通过本发明为用户提供了一套成本投入小、存储性能优越、基于现有逻辑工艺的非易失性存储器设计制造解决方案。 |
申请公布号 |
CN101315935A |
申请公布日期 |
2008.12.03 |
申请号 |
CN200710099806.0 |
申请日期 |
2007.05.30 |
申请人 |
北京芯技佳易微电子科技有限公司 |
发明人 |
朱一明 |
分类号 |
H01L27/115(2006.01);H01L29/788(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/8247(2006.01);H01L21/336(2006.01);H01L21/768(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/115(2006.01) |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 |
代理人 |
许静 |
主权项 |
1.一种非易失性存储器,包括提供源极、漏极和浮栅的多层,该多层包含为存储器提供互连线的多层金属层。其中至少两层金属层电容性耦合,为浮栅提供电容。 |
地址 |
100084北京市海淀区清华科技园学研大厦B座301室 |