算出搬送机构的搬送偏差的方法及半导体处理装置

摘要

仿真基板(17)在具有用于辅助中心定位的第一引导体(G1)这一点与被处理基板不同，但可以作为被处理基板的替代物而被操作。处理室(2)配设有用于辅助仿真基板(17)中心定位的第二引导体(G2)。为了算出搬送机构(TRM)的搬送偏差，首先在装载台(14)的上面或上方，通过使第一和第二引导体(G1、G2)结合，使仿真基板(17)相对于装载台14中心定位。这样，利用搬送机构(TRM)接受已经中心定位的仿真基板(17)并将其搬送到检测器(11)。然后，利用检测器(11)得到仿真基板(17)的偏心量和偏心方向的检测值，根据检测值，算出搬送机构(TRM)的搬送偏差。

主权项

1.一种算出搬送机构的搬送偏差的方法，其特征在于：在半导体处理装置中，使用在具有用于辅助其自身中心定位的第一引导体这一点与被处理基板不同，但作为所述被处理基板的替代物而被操作的仿真基板，其中，所述装置包括：用于对所述被处理基板实施处理的处理室；配设在所述处理室内，在进行所述处理时装载所述被处理基板的装载台；配设在所述处理室外，用于相对于所述装载台搬送所述被处理基板的所述搬送机构；配设在所述处理室外，用于检测所述被处理基板的偏心量和偏心方向的检测器；和用于辅助所述仿真基板中心定位的第二引导体，在将所述仿真基板从所述搬送机构移载至所述装载台的期间，所述第二引导体与所述第一引导体结合，使所述仿真基板相对于所述装载台中心定位，所述方法包括：在使所述仿真基板相对于所述装载台中心定位之前，将所述仿真基板搬送到所述检测器上的工序；然后，利用所述检测器得到所述仿真基板的初始偏心量和初始偏心方向的初始检测值的工序；接着，在将所述仿真基板从所述检测器搬送到所述装载台的上面或上方的位置时，根据所述初始检测值补正初始偏心量和初始偏心方向的工序；在所述装载台的上面或上方的位置，通过所述第一和第二引导体的结合，使所述仿真基板相对于所述装载台中心定位的工序；利用所述搬送机构接受所述已经中心定位的仿真基板，并将其搬送至所述检测器的工序；以及然后，利用所述检测器得到所述仿真基板的偏心量及偏心方向的检测值，根据所述检测值，算出所述搬送机构的搬送偏差的工序。