探针组装体

摘要

本发明的探针组装体，尽管被按压在被检查体电极上的针尖区域具有在过驱动作用下容易挠曲的形状，但是可以防止槽的破损。探针组装体借助沿探针排列方向延伸的导杆，使探针支承在支承体上，将探针的前端侧的针尖区域配置在带有槽的杆的槽内，把沿导杆长度方向延伸的弹性体配置在探针与支承体或带有槽的杆之间。这样，探针借助弹性体被按压在导杆上，所以，消除了探针相对于导杆的游隙，可防止探针的倾斜。

主权项

1、探针组装体，其特征在于，包含有：支承体、多个探针、细长的导杆、带有槽的杆、至少一个弹性体；上述多个探针，具有带状安装区域、和从该安装区域的前端向前方延伸出并且宽度尺寸比上述安装区域的宽度尺寸小的带状针尖区域，以上述安装区域的宽度方向作为上下方向的状态、且使上述安装区域相对地将该多个探针并列配置在上述支承体的下侧；上述细长的导杆，朝上述安装区域的厚度方向贯穿该安装区域地延伸并支承在支承体上；上述带有槽的杆，配置在上述支承体的前端侧，并朝着上述导杆的长度方向延伸，在其长度方向隔开间隔地设有朝下方开放的多个槽；上述至少一个弹性体，配置在上述探针与上述带有槽的杆或上述支承体之间，并沿着上述带有槽的杆的长度方向延伸；上述探针的上述针尖区域容纳在上述槽内。