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发明名称 FORMATION OF ULTRA-SHALLOW JUNCTIONS BY GAS-CLUSTER ION IRRIDATION
摘要
申请公布号 EP1787321(A4) 申请公布日期 2008.12.03
申请号 EP20050728275 申请日期 2005.03.11
申请人 TEL EPION INC. 发明人 SKINNER, WESLEY, J.;HAUTALA, JOHN, J.;BORLAND, JOHN, O.
分类号 H01L21/425 主分类号 H01L21/425
代理机构 代理人
主权项
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