霍尔型离子源

摘要

本实用新型公开了一种离子源，包括阳极，通过固定栓悬浮布置在阳极上方的阴极，及将电、气、冷却介质引入到阳极和阴极中的电、气、冷却介质引入组件，其中，由高导热材料制成的阳极被由电、气、冷却介质引入组件所引入的冷却介质进行直接冷却，且阳极表面采用导电薄膜进行改性；阳极采取严格屏蔽方式且屏蔽间隙小于暗区距离；由金属玻纹管或其他密封结构将用于引入电、气、冷却介质的管线引入真空室，防止异常放电；本实用新型的屏蔽外壳可悬浮或被施加不同电位，以控制屏蔽外壳对离子的吸收数量，改善离子束的分布状态。本实用新型可以克服阳极污染、暗区放电的缺点，提高了离子源的使用效率，能有效执行工件镀前处理和镀膜过程的离子束辅助作用。

主权项

1.一种霍尔型离子源，其特征在于，包括阳极，通过固定栓悬浮布置在阳极上方的阴极，以及用于将电、气、冷却介质引入到阳极和阴极中的电、气、冷却介质引入组件，其中由高导热材料制成的所述阳极与所述电、气冷却介质引入组件直接相连，且所述阳极表面已采用导电薄膜进行改性。