发明名称 |
一种薄膜太阳能电池的镀膜涂装用屏蔽、及使用该屏蔽的方法及系统 |
摘要 |
本发明一种薄膜太阳能电池镀膜涂装系统,包括:一屏蔽,由一中空框架及复数个遮蔽件所组成;及一基板镀膜涂装装置在芯片镀膜涂装时,藉由在欲进行镀膜的一基板上设立该屏蔽以简化薄膜太阳能电池芯片制程中镀膜及蚀刻的程序,该程序包括下列步骤:步骤A:设置一基板;步骤B:在该基板上加设一遮蔽物;步骤C:进行该基板的镀膜涂装;及步骤D:移除该遮蔽物,形成一具有复数个相邻镀膜区的基板。 |
申请公布号 |
CN101315956A |
申请公布日期 |
2008.12.03 |
申请号 |
CN200710106066.9 |
申请日期 |
2007.05.31 |
申请人 |
钰衡科技股份有限公司 |
发明人 |
彭光中 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
代理机构 |
北京申翔知识产权代理有限公司 |
代理人 |
周春发 |
主权项 |
1、一种薄膜太阳能电池镀膜涂装系统,包括:一屏蔽,由一中空框架及复数个遮蔽件所组成及一基板镀膜涂装装置在芯片镀膜涂装时,藉由在欲进行镀膜的一基板上设立该屏蔽以简化薄膜太阳能电池芯片制程中镀膜及蚀刻的程序,该程序包括下列步骤:步骤A:设置一基板;步骤B:在该基板上加设一遮蔽物;步骤C:进行该基板的镀膜涂装;及步骤D:移除该遮蔽物,形成一具有复数个相邻镀膜区的基板。 |
地址 |
台湾省台南县安定乡中沙村沙仑39-5号 |