发明名称 |
石英玻璃坩埚及其制造方法和用途 |
摘要 |
本发明通过在除坩埚底部的坩埚直体部分形成在石英玻璃层内部夹有含铝等结晶促进成分的层的结构,在硅单晶提拉时,可促进该部分的结晶,高温下的坩埚强度提高,因此,不会发生坩埚直体部分的变形或内倒。从而可以提高硅单晶的结晶速率。另外,结晶促进层被夹在石英玻璃层内部,铝或钡等结晶促进成分不与硅熔融液或碳基座接触,不会由于它们的溶出而发生污染。并且,结晶促进层未设在坩埚底部,因此没有提拉结束时热应变导致发生龟裂的危险性,不会发生漏液。 |
申请公布号 |
CN101316953A |
申请公布日期 |
2008.12.03 |
申请号 |
CN200680044333.8 |
申请日期 |
2006.11.27 |
申请人 |
日本超精石英株式会社 |
发明人 |
神田稔;佐藤贤 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01);C03B20/00(2006.01);C30B15/10(2006.01) |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吴娟;孙秀武 |
主权项 |
1.石英玻璃坩埚,该石英玻璃坩埚用于硅单晶提拉,其特征在于:在除坩埚底部之外的坩埚直体部分形成在坩埚内层和坩埚外层之间夹有含结晶促进成分的层,即结晶促进层的结构,在坩埚底部不设置结晶促进层。 |
地址 |
日本秋田县 |