| 发明名称 | 超声薄膜换能器 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于微制作的薄膜超声换能器的结构，以及制造此结构的方法。在一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，和设置在平坦部件上且耦合到压电材料的间隔开的电极，用来将电场施加到此层，以及连接到电极的吸声背衬部件。在另一实施方案中，换能器包括具有邻接半导体材料的压电材料的平坦部件，此半导体材料具有单片地形成在层中且耦合到压电材料的有源电路。在另一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，以及具有单片形成的有源电路的半导体材料邻接层的吸声背衬部件，此有源电路被耦合到电极。 | ||
| 申请公布号 | CN100438992C | 申请公布日期 | 2008.12.03 |
| 申请号 | CN03809931.4 | 申请日期 | 2003.04.28 |
| 申请人 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 发明人 | J·D·弗拉塞;M·K·克里;G·施米茨 |
| 分类号 | B06B1/06(2006.01);H01L41/08(2006.01);H04R17/00(2006.01) | 主分类号 | B06B1/06(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 吴立明;张志醒 |
| 主权项 | 1.一种微制作的超声薄膜换能器，包含：其中形成有一层压电材料(280)的平坦部件(21)；设置在平坦部件(21)表面上、且耦合到压电材料层(280)的多个间隔开的电极(24、25)，用来将电场(29)施加到此层以便弯曲平坦部件(21)的所选部分(27)；以及固定地连接到多个电极(24、25)的吸声背衬部件(200)。 | ||
| 地址 | 荷兰艾恩德霍芬 | ||