| 发明名称 | 固体表面平坦化方法及其装置 | ||
| 摘要 | 一种通过在固体表面上辐照气体簇离子束平坦化固体表面的方法，其中由固体表面和气体簇离子束所形成的辐照角度θ被设定在1°和小于30°之间。当固体表面相当粗糙时，作为第一步，首先将第一辐照角度设定为约90°并把束辐照在固体表面上。然后，作为第二步，把辐照角度设定为1°到小于30°，并把束辐照在固体表面上以提高处理效率。或者把第一步和第二步的组合重复多次。 | ||
| 申请公布号 | CN100440450C | 申请公布日期 | 2008.12.03 |
| 申请号 | CN200480028495.3 | 申请日期 | 2004.09.29 |
| 申请人 | 日本航空电子工业株式会社 | 发明人 | 佐藤明伸;铃木晃子;伊曼纽尔·布雷尔;松尾二郎;瀬木利夫;青木学聪 |
| 分类号 | H01L21/3065(2006.01);C23F4/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陶凤波;侯宇 |
| 主权项 | 1.一种利用气体簇离子束来平坦地修整固体表面的方法，包括：辐照所述气体簇离子束的过程，其方式为，在所述气体簇离子束辐照过程的至少一部分时间期间内使得由所述固体表面和所述气体簇离子束形成的角度小于30°。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||