基板搬运装置

摘要

本发明提供一种基板搬运装置，不用将基板的预备位置决定机构设置于搬入台、曝光台，却可在搬运至曝光台之前进行基板的预备位置决定，且销的设置位置调整也简化作为课题。基板搬运装置包括：预备位置决定机构(2)，押动上述搬入台(30)上的基板(W)的端面，进行预备位置决定；以及搬运机构(20)，将此预备位置决定机构藉由支持本体(12)支持，且将预备位置决定完成的基板吸着保持而搬运至上述曝光台(40)；其中上述预备位置决定机构系，具有被支持在上述支持本体的驱动装置(6)、以及藉由此驱动装置驱动而押动上述基板的端面的押动装置(3)；上述驱动装置系，具有圆筒形的磁性轴体(7)、使此磁性轴体在轴周围转动的转动装置(8)、以及与藉由此转动装置转动的磁性轴体的周面相对而设置的直线状的第一纵长磁性体(9A)和第二纵长磁性体(9B)。

主权项

1.一种基板搬运装置，从被搬入至搬入台的基板的上方下降而进行预备位置决定，且保持上述基板而搬运至曝光台，包括：预备位置决定机构，押动被载置于上述搬入台上的基板的端面，进行预备位置决定；以及搬运机构，将该预备位置决定机构藉由支持本体支持，且将完成了预备位置决定的基板吸着保持而搬运至上述曝光台；其中上述预备位置决定机构系，具有被支持在上述支持本体的驱动装置、以及藉由该驱动装置驱动而押动上述基板的端面的押动装置；上述押动装置系，具有分别抵接在上述基板的相互对面的一端面以及另一端面的第一抵接销以及第二抵接销、以及分别支持该第一抵接销以及第二抵接销的第一支持体以及第二支持体；上述驱动装置系，具有圆筒形的磁性轴体、将该磁性轴体在轴周围转动的转动装置、以及与藉由该转动装置而转动的磁性轴体的周面相对而设置的直线状的第一纵长磁性体和第二纵长磁性体；上述第一纵长磁性体支持上述第一支持体，上述第二纵长磁性体支持上述第二支持体。