液体排出头的制造方法

摘要

在基板上设置对具有相同波长范围的光感光的三个正型感光材料层，并且中间层含有光吸收剂。中间层中含有的紫外线吸收剂防止中间层和下层在上层的曝光过程中被曝光。在将上层曝光后，用对上层曝光所使用的具有相同波长范围的光对中间层和下层曝光。

主权项

1.液体排出头的制造方法，所述液体排出头中设置有用于排出液体的排出口和与该排出口连通的液体流路，该方法包括以下步骤：在基板上形成第一正型感光材料层；在第一正型感光材料层上形成第二正型感光材料层，该第二正型感光材料层含有光吸收剂，该光吸收剂吸收具有第一正型感光材料层感光的波长的光，第二正型感光材料层对具有上述波长的光感光；在第二正型感光材料层上形成第三正型感光材料层，该第三正型感光材料层对具有上述波长的光感光；用具有上述波长的光将第三正型感光材料层曝光；使第三正型感光材料层显影；用具有上述波长的光将第二感光材料层和第一正型感光材料层曝光；使第二感光材料层和第一感光材料层显影；在基板上形成被覆层从而将已进行了显影的第一感光材料层、第二感光材料层和第三感光材料层被覆；在被覆层中形成排出口；和通过将第一感光材料层、第二感光材料层和第三感光材料层除去而形成流路。