激光加工装置

摘要

本发明得到一种激光加工装置，其可以在同时多点照射型激光加工装置中，使2束激光加工品质的差异变小，实现加工品质的提高。该激光加工装置具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的2束激光(Lα、Lβ)；电扫描器，其配置在激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)沿XY工作台上的第1方向进行扫描；电扫描器，其配置在激光(Lβ)的光路上，使激光(Lβ)沿XY工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将2束激光混合；一对主电扫描器，其使激光(Lα、Lβ)沿XY工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自主电扫描器的激光(Lα、Lβ)分别在被加工物的规定位置上聚光。

主权项

1.一种激光加工装置，其在配置于工作台上的被加工物的大于或等于2个点上同时照射激光而进行加工，其特征在于，具有：第1偏振单元，其将1束激光分光为光路不同的第1和第2激光；第1电扫描器，其配置在上述第1激光的光路上，使上述第1激光沿上述工作台上的第1方向进行扫描；第2电扫描器，其配置在上述第2激光的光路上，使上述第2激光沿上述工作台上与第1方向不同的第2方向进行扫描；第2偏振单元，其将上述第1及第2激光混合；主电扫描器，其由一对第3和第4电扫描器构成，它们使混合后的上述第1及第2激光沿上述工作台上互不相同的第3和第4方向进行扫描；以及fθ透镜，其使来自上述主电扫描器的上述第1及第2激光分别在上述被加工物上的规定位置处聚光。