气体处理单元

摘要

本发明提供一种附设于热处理单元上的气体处理单元。热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，所收容的被热处理物可从热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与热处理室连通。气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸地与气体导出部连接的导出管，气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部中，并且从气体导出部导出气体；催化剂，分解从气体导出部导出的气体中所含的升华物，升华物从被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及鼓风机，将热处理用气体及进行热处理后的气体向规定方向引导。由此，能迅速对待鼓风机或加热器等电气设备发生故障的情况。

主权项

1.一种气体处理单元，其特征在于，该气体处理单元附设于热处理单元上，该热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从该热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与所述热处理室连通，该气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与所述气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸地与所述气体导出部连接的导出管，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部中，并且从所述气体导出部导出气体；催化剂，分解从所述气体导出部导出的气体中所含有的升华物，该升华物从所述被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及从所述气体导出部导出的气体向规定方向引导。