发明名称 电子部件及其制造方法
摘要 一种电子部件,设置有衬底(101);由衬底(101)直接或间接支撑的压电材料层(102);设置在衬底的相反侧的压电材料层之表面上的第一电极(103);和设置在衬底侧的压电材料层之表面上的第二电极(104)。压电材料层(102)被夹在第一电极(103)和第二电极(104)之间。第一电极(103)的表面面积小于压电材料层(102)的表面面积。从第一电极(103)露出压电材料层(102)的部分包括比第一电极和第二电极之间的压电材料层的厚度薄的部分。因此,可以构成具有比其原始谐振更高频率的谐振器,并且很容易实现谐振器之谐振频率的调整,以及提高部件的产量和实现包括不同谐振频率的多个谐振器的电子部件之结构。
申请公布号 CN100440730C 申请公布日期 2008.12.03
申请号 CN200410059709.5 申请日期 2004.06.17
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 南波昭彦;大西庆治;武田克
分类号 H03H3/02(2006.01) 主分类号 H03H3/02(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 夏青
主权项 1、一种电子部件,包括:衬底;由该衬底直接或间接支撑的压电材料层;第一电极,设置在所述压电材料层的与该衬底相反侧的表面上;和第二电极,设置在所述压电材料层的该衬底侧的表面上;其中,所述压电材料层被夹在该第一电极和该第二电极之间;其中,该第一电极的表面面积小于所述压电材料层的表面面积;和其中,所述压电材料层的从该第一电极露出的部分包括比该第一电极和该第二电极之间的所述压电材料层的厚度薄的部分;形成一谐振器,其中该衬底包括一振荡空间,以及其中所述压电材料层至少包括不被该衬底支撑的第一压电材料区域和除了所述第一压电材料区域以外的第二压电材料区域,其中,在所述第二压电材料区域中所述压电材料层不被该衬底支撑。
地址 日本大阪府