工件保持定位装置及保持装置

摘要

一种可小型化及低成本化的工件保持定位装置及保持装置，在工件的加工装置或检查装置中，用两个部位保持所述薄膜状工件，能够实现X方向及Y方向的定位以及旋转方向的定位。驱动部具有：向Y方向延伸的一对平行的Y导杆(5)、(12)、沿Y导杆可移动的Y台座(21)、(31)、Y驱动构件(6)、(13)、设置于Y台座上且向X方向延伸的X导杆(2)、(9)、沿X导杆且可移动的X台座(22)、(32)、X驱动构件(3)、(10)。保持部(1)、(8)具有：与工件的一个面接触且支承此的基部、设置于工件的另一面侧通过水平轴可摆动的爪构件、使该爪构件摆动的爪驱动部，爪构件在通过爪驱动部向基部摆动时，在与基板之间用点保持工件。

主权项

1、一种工件保持定位装置，其特征在于，具有在彼此正交的X方向及Y方向驱动移动部的一对驱动部和设置于所述各移动部的保持部，所述保持部具有：与工件的一个面接触且支承该工件的基部、设置于所述工件的另一面侧且通过水平轴可摆动的爪构件、使该爪构件摆动的爪驱动部，所述爪构件具有在通过所述爪驱动部向所述基部摆动时，在与所述基部之间用点保持所述工件的形状。