发明名称 |
抛光整理器 |
摘要 |
本发明提供了一种抛光整理器,它包括有一本体,而本体底面具有一个容置空间,一个位本体底面上且具有复数个连通内外侧的沟槽的环状抛光板,一个连通至容置空间的气体通道,然后通过将气体注入气体通道至容置空间,然后由沟槽排出以形成一股气旋,从而有效避免使用腐蚀性抛光浆料可能对抛光板造成的损伤。 |
申请公布号 |
CN100439040C |
申请公布日期 |
2008.12.03 |
申请号 |
CN200410054225.1 |
申请日期 |
2004.09.02 |
申请人 |
上海宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
刘圣刚;黄文忠 |
分类号 |
B24B53/02(2006.01) |
主分类号 |
B24B53/02(2006.01) |
代理机构 |
上海光华专利事务所 |
代理人 |
余明伟 |
主权项 |
1.一种抛光整理器,其包括有:一个本体,其下端外周缘向外延伸形成一延伸部,而该延伸部的底部凸设一个凸环,该延伸部与该凸环形成一个容置空间;一个环状抛光板,它位于该凸环底面上,且该环状抛光板上设有复数个砥粒,该环状抛光板底面具有复数个连通该环状抛光板内外侧的沟槽;以及一个气体通道,它位于该本体上,用以由该气体通道注入一气体到该容置空间后再由该沟槽排出,以形成气旋。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 |