发明名称 抛光整理器
摘要 本发明提供了一种抛光整理器,它包括有一本体,而本体底面具有一个容置空间,一个位本体底面上且具有复数个连通内外侧的沟槽的环状抛光板,一个连通至容置空间的气体通道,然后通过将气体注入气体通道至容置空间,然后由沟槽排出以形成一股气旋,从而有效避免使用腐蚀性抛光浆料可能对抛光板造成的损伤。
申请公布号 CN100439040C 申请公布日期 2008.12.03
申请号 CN200410054225.1 申请日期 2004.09.02
申请人 上海宏力半导体制造有限公司 发明人 刘圣刚;黄文忠
分类号 B24B53/02(2006.01) 主分类号 B24B53/02(2006.01)
代理机构 上海光华专利事务所 代理人 余明伟
主权项 1.一种抛光整理器,其包括有:一个本体,其下端外周缘向外延伸形成一延伸部,而该延伸部的底部凸设一个凸环,该延伸部与该凸环形成一个容置空间;一个环状抛光板,它位于该凸环底面上,且该环状抛光板上设有复数个砥粒,该环状抛光板底面具有复数个连通该环状抛光板内外侧的沟槽;以及一个气体通道,它位于该本体上,用以由该气体通道注入一气体到该容置空间后再由该沟槽排出,以形成气旋。
地址 201203上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号