发明名称 METHOD FOR FORMING METAL INTERCONNECTION LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100871358(B1) 申请公布日期 2008.12.02
申请号 KR20020037633 申请日期 2002.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
地址