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经营范围
发明名称
The Semi Conductor Wafer Chuck Apparatus
摘要
申请公布号
KR100871800(B1)
申请公布日期
2008.12.02
申请号
KR20030079486
申请日期
2003.11.11
申请人
发明人
分类号
H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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