发明名称 alignment key and the forming method for semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100871801(B1) 申请公布日期 2008.12.02
申请号 KR20050132393 申请日期 2005.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址