整合式压力及流量比控制系统

摘要

一种整合式压力及流量比控制系统包含N个质流控制器MFC#sB!i#eB!(i=1,...,N)，每一控制器控制一流体F#sB!i#eB!(i=1,...,N)流入一处理室内之流率。此等N个质流控制器藉由一数位通讯网路链结在一起。该等质流控制器其中一者是一主MFC，且剩下的N-1个MFC是从属MFC。该主MFC从一主机控制器接收一压力设定值及复数N个流量比设定值，且将这些设定值通知所有从属MFC。依此方式，该室内之压力被维持在该压力设定值且流量比Q#sB!i#eB!/Q#sB!T#eB!被维持在该等流量比设定值，其中Q#sB!i#eB!是第i个流体F#sB!i#eB!的流率，且Q#sB!T#eB!=Q#sB!1#eB!+Q#sB!2#eB!+...Q#sB!N#eB!是全部N个流率的总和。