移动体装置、图案形成装置及其方法、元件制造方法、移动体装置的制造方法、以及移动体驱动方法

摘要

将基板平台（21）与支持该基板平台的自重的自重解除机构（27）各自不同地分开构成。由此，与将自重解除机构和基板平台构成一体时相比，可使得基板平台（包含基板平台的构造体）小型化、轻量化。并且，利用X驱动机构（97X）与Y驱动机构（97Y）来使X粗动平台（23X）与Y粗动平台（23Y）移动，从而使基板平台在XY平面内受到驱动，并且用以支持基板平台的自重之自重解除机构亦受到驱动。藉此，即使将基板平台与自重解除机构各自不同地分开构成，亦可无障碍地驱动基板平台。