发明名称 |
用于遮蔽部份弧灯之罩 |
摘要 |
本发明揭示一种用以自电磁辐射遮蔽弧灯之一部份之罩。该罩具有一由一适合于反射该电磁辐射之反射材料所形成的反射表面。 |
申请公布号 |
TW200846835 |
申请公布日期 |
2008.12.01 |
申请号 |
TW096150018 |
申请日期 |
2007.12.25 |
申请人 |
ASML荷兰公司 |
发明人 |
马赛尔 麦西斯 希尔多尔 马里亚 戴莉兹;亨利克斯 威尔翰玛斯 玛莉亚 范 布尔;瑞 艾力克森德 多明尼可斯 杜萨恩特;罗欧 马登 赛门 露普斯 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
主权项 |
|
地址 |
荷兰 |