缺陷检测装置、缺陷检测方法、影像感测器元件、影像感测器模组、缺陷检测程式及电脑可读取之记录媒体

摘要

本发明之缺陷检测装置1具备：像素值校正部16，其系以将作为检测缺陷区域之对象之检查对象图像之缺陷区域对于检查对象图像之其他区域增强之方式，校正检查对象图像内之像素值；区块分割处理部17，其系将像素值校正过之检查对象图像分割为复数区块，并且求出将存在于各区块内之像素之像素值予以加算后之值即区块加算值，或藉由以存在于各区块内之像素数来除以区块加算值所求出之值即区块平均值；及良莠判断部19，其系藉由统计处理部18之统计处理来判断是否有区块加算值或区块平均值之偏离值，藉此判断上述缺陷区域之有无。藉此，可实现藉由增强影像感测器图像之缺陷区域，可精度良好地检测缺陷区域之缺陷检测装置及缺陷检测方法。