电解加工单元装置及电解加工洗净乾燥方法

摘要

[课题]本发明系作成将晶圆的电解加工工程、洗净工程及乾燥工程汇集成1个模组，且即便是在各工程发生故障，亦不会使要被其他模组进行加工处理的晶圆之搬运停滞。[解决手段]具备有执行晶圆W的电解加工的电解加工部2、将该加工后的晶圆洗净的洗净部3、以及使前述晶圆W乾燥之乾燥部4，且该电解加工部2、洗净部3及乾燥部4设于同一加工处理室5并模组化成1个。藉此，晶圆W的电解加工、洗净及乾燥系可在1个部位被连续地实施。