| 摘要 |
本发明系关于一种用于基板之自动化载具（1），尤指用于制造矽基太阳能电池之晶圆（10），其具有二相互对立之壁（2；3），多个连接该壁（2；3）之连接元件（4），及一用以将晶圆（10）保持于载具（1）中之保持结构，该保持结构将晶圆（10）以一种对载具（1）装填及卸除方向（Ｂ及Ｅ）垂直、互相平行且等距位置之方式保持于载具中。藉由以下方式，不同晶圆格式于运送时保持无负荷，即两壁设计成相同之Ｕ-形基板及盖板（2；3），以可松脱方式与四垂直载具（1）之装填与卸除方向（Ｅ及Ｂ）之柱体（4）连接，且与柱体构成一载具（1）之骨架（5），该载具骨架上之各纵向侧边，四柱体（4）中之二，于Ｕ-形基板与盖板（2与3）各自相对之腿部（6）内面（7）间延伸，该柱体于平行于载具（1）之装填与卸除方向（Ｂ及Ｅ）之平面上保持等距，即于载具（1）中保持晶圆（10）之保持结构包含二相同、于载具骨架（5）内互相间隔、可更换之晶圆携带单位（11；12），其各自具有至少一相同之梳齿板（16），以可松脱方式安装于二安装板（13）上，垂直于载具（1）之装填与卸除方向（Ｂ及Ｅ），并各自于一位置上以可松脱方式与二Ｕ-形基板与盖板（2；3）连接，该位置系由预定配置给多种晶圆格式之固定位置中选出，其间各晶圆携带单位（11；12）之至少一梳齿板（16）之梳齿根部位于二平面间，而二平面间之距离对应于选择预定之晶圆格式之前缘长度，即于至少一晶圆携带单位（11；12）上，以关节式旋转方式装设一安全扣（20），该安全扣延伸过晶圆携带单位（11）之长度，并于一关闭及一开放位置（Ｓ及Ｆ）间自动切换，用以阻挡及开放载具（1）之晶圆（10）装填或卸除，且于载具骨架（5）之二相对Ｕ-形基板与盖板（2及3）基部（26）之内面（27）间，设有一由二Ｕ-形铝材（29）制成且含橡胶元件（30）之挡块（28），该挡块（28）垂直于装填与卸除方向（Ｂ及Ｅ）延伸，载具（1）装填时，晶圆（10）以其侧边之侧缘区域被导引于相对之梳齿板（16）间，晶圆（10）面向挡块（28）之前缘（31），以无冲撞方式接着。（图一） |
