小量装载埠的结构配置

摘要

基材搬运设备和方法包括小批量装载埠结构配置，具有复数个小批量装载埠，耦接至用于大批量基材承载且具大批量装载埠封套的设备前端模组(EFEM)，其中小批量装载埠结构配置具有实质相似大批量装载埠封套的结合封套，每一小批量装载埠入坞一小批量基材承载。另提出之系统包括(1)EFEM和(2)小批量装载埠结构配置。在此尚提出许多不同态样。