Ｘ射线分析装置和Ｘ射线分析方法

摘要

在Ｘ射线分析装置和Ｘ射线分析方法中，藉由稳定地作动Ｘ射线源而稳定地实施定量分析。具有第一次Ｘ射线照射于样本之Ｘ射线管形灯泡、能够调整一次Ｘ射线之强度的一次Ｘ射线调整机构、Ｘ射线侦测器，其侦测自样本辐射出之特性Ｘ射线，藉以输出包含特性Ｘ射线和散射之Ｘ射线的能量资讯之讯号、分析上面之讯号的分析器、及入射Ｘ射线调整机构，其系配置于样本与Ｘ射线侦测器之间，且能够调整进入至Ｘ射线侦测器中之特性Ｘ射线和散射之Ｘ射线的总强度。