| 摘要 |
[课题]在配线图案之检查装置以及方法中，使其成为能够对产生于图案之表面的凹坑与突起作区别，而能够在仅检测出凹坑的同时，亦进行线宽幅之测定。[解决手段]从TAB带之被形成有图案之侧起，藉由反射照明手段12，而对于检查区域以斜射入的方式来照射照明光，同时，从被形成有图案之侧的相反侧，藉由透过照明手段13来照射照明光，并藉由摄像手段11而对图案作摄像。若是在图案之表面存在有凹坑，则从反射照明手段12而来之反射光系射入摄像手段11，而将该部分摄像为明亮。又，藉由从透过照明手段13而来之照明光，被形成有图案之部分系被摄像为灰暗，而未被形成有图案之部分系被摄像为明亮。故而，藉由使用反射照明与透过照明而进行摄像，能够在仅将凹坑检测出来的同时，对线宽幅作测定。 |
