平台系统和包含该平台系统的微影装置

摘要

本发明揭示一种用于一微影装置之平台系统，其包括一平台、用以作用于该平台之超过预定数目的致动器、用以量测该平台之一位置相依参数及提供一各别感测器信号的至少两个感测器。该至少两个感测器经配置以在一相同自由度中量测该等各别位置相依参数。提供一控制器以回应于一设定点及如由该等感测器中之至少一者所量测之该位置相依参数来将一控制器输出信号提供至该等致动器中之至少一者。一另一控制器具备由该等感测器所量测之该等位置相依参数。该另一控制器经组态以自该等感测器判定该等位置相依参数间的一差且回应于该经判定之差将一另一控制器输出信号提供至该等致动器中的至少一者。