发明名称 |
相变化记忆体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种相变化记忆体装置,包括:一基板;复数个彼此隔离之底电极,位于上述基板上;一绝缘层,横跨于上述相邻之任两个底电极的部分表面上;一对相变化材料间隙壁,位于上述绝缘层的一对侧壁上,其中上述对相变化材料间隙壁系分别位于上述相邻之任两个底电极上;一顶电极,位于上述绝缘层上,且覆盖上述对相变化材料间隙壁。 |
申请公布号 |
TW200847399 |
申请公布日期 |
2008.12.01 |
申请号 |
TW096118040 |
申请日期 |
2007.05.21 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 |
发明人 |
林永发;王德纯 |
分类号 |
H01L27/10(2006.01);H01L27/115(2006.01);H01L21/82(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/10(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文;颜锦顺 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 |