发明名称 |
相变化记忆体装置及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种相变化记忆体装置及其制造方法。上述相变化记忆体装置包括一相变化记忆胞阵列。各相变化记忆胞包括一电晶体元件设置于一基板上。一直立式电极结构与电晶体元件电性相连,以及一直立式记忆层与该直立式电极结构上下直立形式堆叠并于一接触点接触,其中该接触点做为相变化记忆胞作用之相变化位置。 |
申请公布号 |
TW200847400 |
申请公布日期 |
2008.12.01 |
申请号 |
TW096119447 |
申请日期 |
2007.05.31 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院;力晶半导体股份有限公司;南亚科技股份有限公司;茂德科技股份有限公司;华邦电子股份有限公司 |
发明人 |
李乾铭 |
分类号 |
H01L27/10(2006.01);H01L27/24(2006.01);H01L47/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/10(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文;颜锦顺 |
主权项 |
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地址 |
新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 |