离子源组件

摘要

本发明涉及一种离子源组件，该离子源组件包括冷阴极、栅极及离子加速极，冷阴极、栅极及离子加速极分别相向间隔设置，该栅极位于冷阴极与离子加速极之间，其中，冷阴极与栅极之间的距离小于或等于2毫米。该离子源组件的冷阴极采用奈米碳管作为场发射薄膜来发射电子，因此其具有低功耗、低放气率、发射电子稳定及抗离子轰击等优点。