确认布局图形之方法

摘要

依据本发明之确认布局图形之方法，包括个别地模拟经由布局图形做为一光罩，将布局图形转移至一膜层，获得膜层之下部模拟图形，及模拟经由布局图形做为一光罩，将布局图形转移至膜层，获得膜层之上部影像模拟图形之步骤，再依据此等下部及上部之模拟图形以确认布局图形是否堪用。