| 摘要 |
本发明提供一种喷嘴洗净装置，其可持续长期十分洁净地洗净喷嘴。本发明之洗净块61具备：一对飞散防止板73；4个惰性气体喷出用块75，其系具备惰性气体喷出用狭缝77、78；隔板74；由支持构件所支持之下面洗净刷82、右侧面洗净刷83及左侧面洗净刷81；及一对喷嘴用块76，其系支持第1喷嘴87、第2喷嘴84及第3喷嘴85、86。当洗净块61配置于洗净区域时，下面洗净刷82配置于可与狭缝喷嘴下端部下面抵接之位置，右侧面洗净刷83配置于朝向狭缝喷嘴之长边方向可与下端部右侧面抵接之位置，左侧面洗净刷81配置于朝向狭缝喷嘴之长边方向可与下端部左侧面抵接之位置。 |
