研磨垫及其应用与其制造方法

摘要

本发明主要系关于一种研磨垫，该研磨垫包含：一包含纤维之基底材料；一具有低渗透性之薄膜；一个二液型糊剂，其形成于该具有低渗透性之薄膜之上表面上，用于将该基底材料黏合至该具有低渗透性之薄膜；以及一聚氨酯糊剂，其形成于该具有低渗透性之薄膜之下表面上。本发明亦提供一种包含使用该研磨垫研磨一基板之方法，以及一种用于制造如上述之研磨垫之方法。如上述之研磨垫可防止该研磨垫与研磨平板或研磨头分离，并易于更换该研磨垫而不会在该研磨平板或研磨头上遗留残余物。