发明名称 DISPOSITIVO OPTICO DE MEDICION DE LA POSICION.
摘要 Un dispositivo óptico de medición de la posición con un medio de medición (1.2; 61.2; 71.2) y una unidad de exploración (2; 62; 72) móvil con respecto al mismo al menos en un sentido de medición (x), donde el dispositivo de medición de la posición comprende una fuente de luz (2.1; 62.1; 72.1), una graduación de emisión opcional, una graduación de proyección (24; 44; 54), una graduación de detección, una graduación de Vernier opcional así como varios elementos de detector optoelectrónicos y la luz de la fuente de luz (2.1; 62.1; 72.1) proyecta interactuando con la graduación de proyección (24; 44; 54) un patrón de franjas sobre la graduación de detección, de tal forma que se pueden detectar señales de salida dependientes del desplazamiento mediante los elementos de detector, donde la graduación de proyección (24; 44; 54) está configurada de tal forma que además de los órdenes de difracción pares y el orden de difracción 0 por lo demás se pueden suprimir los órdenes de difracción ñ 3 y, en un caso dado, órdenes de difracción impares superiores, por lo que esencialmente solamente contribuyen los órdenes de difracción ñ 1 a la generación de las señales de salida y la graduación de proyección (24; 44; 54) se compone de estructuras de amplitudes periódicas dispuestas de forma alterna en el sentido de la medición (x) que desvían o suprimen la luz que atraviesa o que se refleja y estructuras de fases que tienen un efecto de desplazamiento de fase sobre la luz que atraviesa o que se refleja.
申请公布号 ES2307478(T3) 申请公布日期 2008.12.01
申请号 ES20000115881T 申请日期 2000.07.25
申请人 DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH 发明人 HOLZAPFEL, WOLFGANG;HUBER, WALTER
分类号 G01B11/00;G01B11/02;G01D5/38 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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