发明名称 Multi-directional projection type moire interferometer and inspection method using it
摘要
申请公布号 KR100870930(B1) 申请公布日期 2008.11.28
申请号 KR20070044563 申请日期 2007.05.08
申请人 发明人
分类号 G01J3/02 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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