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发明名称
Multi-directional projection type moire interferometer and inspection method using it
摘要
申请公布号
KR100870930(B1)
申请公布日期
2008.11.28
申请号
KR20070044563
申请日期
2007.05.08
申请人
发明人
分类号
G01J3/02
主分类号
G01J3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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